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千级半导体生产车间洁净起重机
千级半导体生产车间洁净起重机
是应用在千级洁净度室内的半导体物料搬运提升设备。常说的千级洁净起重机行车中的千级是根据洁净室等级主要是根据每立方米空气中尘埃粒子直径超过划分标准的粒子数量来规定,每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级,也就是千级洁净度。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上,千级洁净行车适用于千级洁净无尘室。
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